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应用领域

集成电路 IC、微机电系统 MEMS、功率器件 POWER


适用工艺:

高真空环境下的合金、退火、烧结工艺


产品优势:

  • 进口干泵与分子泵机组,快速获得高真空
  • 管道无油、器件无污染
  • 快速的升降温工艺,提高产能
  • 无氧化、无气泡,成品率高
  • 特殊炉体设计,低能耗,高精度温度场控制,具有良好的温度重复性
  • 模块化部件设计,便于在洁净室内安装与启动生产
  • 软件符合semi标准,功能齐全、界面友好,具备MES功能(可选项)
  • 具有多种安全报警保护、安全互锁、历史记录、操作日志查询功能


真空合金炉
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