应用领域：

集成电路 IC、微机电系统 MEMS、功率器件 POWER

适用工艺：

高真空环境下的合金、退火、烧结工艺

产品优势：

• 进口干泵与分子泵机组，快速获得高真空
  
• 管道无油、器件无污染
  
• 快速的升降温工艺，提高产能
  
• 无氧化、无气泡，成品率高
  
• 特殊炉体设计，低能耗，高精度温度场控制，具有良好的温度重复性
  
• 模块化部件设计，便于在洁净室内安装与启动生产
  
• 软件符合semi标准，功能齐全、界面友好，具备MES功能（可选项）
  
• 具有多种安全报警保护、安全互锁、历史记录、操作日志查询功能