应用领域:
集成电路 IC、功率器件 POWER、微机电系统MEMS
适用工艺:
常压(微正压)闭管干氧氧化、湿氧氧化、氢氧合成氧化、扩散、退火/推进、合金
产品优势:
规格型号:
型号 | Taurus 6600 | Taurus 6800 | Taurus 61000 | Taurus 8800 |
硅片尺寸 | 2-6英寸 | 2-6英寸 | 2-6英寸 | 8英寸 |
工艺应用 | 扩散、氧化、退火 | 扩散、氧化、退火 | 扩散、氧化、退火 | 扩散、氧化、退火 |
炉管数量 | 1-4管 | 1-4管 | 1-4管 | 1-5管 |
恒温区长度 | 400-600mm | 600-800mm | 1000-1200mm | 400-1200mm |
恒温区精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±0.5℃ |
控温段数 | 3段 | 3段 | 5段 | 5段 |
操作方式 | 手动/自动 | 手动/自动 | 手动/自动 | 自动 |