应用领域：

单晶硅、多晶硅加工

适用工艺：

区熔单晶、直拉单晶、多晶；硅片、硅棒高温退火去应力

产品优势：

• 可满足8-12大尺寸区熔单晶、直拉单晶、多晶退火
  
• 可满足2-5米超长度多晶硅棒退火
  
• 配备全自动机械手上下料
  
• 升降平稳无抖动。整机隔离金属污染
  
• 特殊炉体设计，低能耗，高精度温度场控制，具有良好的温度重复性
  
• 模块化部件设计，便于在洁净室内安装与启动生产
  
• 软件符合semi标准，功能齐全、界面友好，具备MES功能（可选项）
  
• 具有多种安全报警保护、安全互锁、历史记录、操作日志查询功能