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应用领域
:
单晶硅、多晶硅加工
适用工艺:
区熔单晶、直拉单晶、多晶;硅片、硅棒高温退火去应力
产品优势:
可满足8-12大尺寸区熔单晶、直拉单晶、多晶退火
可满足2-5米超长度多晶硅棒退火
配备全自动机械手上下料
升降平稳无抖动。整机隔离金属污染
特殊炉体设计,低能耗,高精度温度场控制,具有良好的温度重复性
模块化部件设计,便于在洁净室内安装与启动生产
软件符合semi标准,功能齐全、界面友好,具备MES功能(可选项)
具有多种安全报警保护、安全互锁、历史记录、操作日志查询功能
单晶多晶退火炉
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