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应用领域

单晶硅、多晶硅加工


适用工艺:

区熔单晶、直拉单晶、多晶;硅片、硅棒高温退火去应力


产品优势:

  • 可满足8-12大尺寸区熔单晶、直拉单晶、多晶退火
  • 可满足2-5米超长度多晶硅棒退火
  • 配备全自动机械手上下料
  • 升降平稳无抖动。整机隔离金属污染
  • 特殊炉体设计,低能耗,高精度温度场控制,具有良好的温度重复性
  • 模块化部件设计,便于在洁净室内安装与启动生产
  • 软件符合semi标准,功能齐全、界面友好,具备MES功能(可选项)
  • 具有多种安全报警保护、安全互锁、历史记录、操作日志查询功能


单晶多晶退火炉
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