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VB/VGF单晶生长炉





                            ★ 半导体材料领域:      用于生长砷化镓,磷化铟等I-V族化合物单晶

                            ★ 光学材料领域:      用于生长蓝宝石,氟化钙等光学单晶

                            ★ 其他功能材料领域:      用于生长制作辐射探测器的碲锌镉单晶



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水平氧化扩散炉



集成电路   制造:CMOS棚极氧化、存储器芯片介质层生长、DRAM电容介质形成

功率半导体制造:IG8T器件的场氧生长、MOSFET棚极氧化层制备、功率二极管PN结形成

新型半导体材料:5iC器件栅氧生长、GaN器件表面纯化、三代半导体材料掺杂工艺

MEMS     制造:MEMS结构层的热氧化,传感器介质层制备、微机械结构的掺杂工艺









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中国青岛(上合示范区)新东路6号




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