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管式反应炉




               化工行业领域:   用于特种气体的合成,如氯化物,氟化物,溴单质等

              ★ 环保与资源回收领域:   用于有害气体的处理,通过加热使气体在催化剂作用下分解或转化为无害物质

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水平氧化扩散炉



集成电路   制造:CMOS棚极氧化、存储器芯片介质层生长、DRAM电容介质形成

功率半导体制造:IG8T器件的场氧生长、MOSFET棚极氧化层制备、功率二极管PN结形成

新型半导体材料:5iC器件栅氧生长、GaN器件表面纯化、三代半导体材料掺杂工艺

MEMS     制造:MEMS结构层的热氧化,传感器介质层制备、微机械结构的掺杂工艺









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0532-82289777/82281216

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地        址:
中国青岛(上合示范区)新东路6号




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