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工业自动化产线






                        ★ 全自动化生产设备

                        ★ 自动上下装卸料

                        ★ 物料无人帮运，自动输送带传递

                        ★ 完整的工厂MES系统对接，标准通信系统，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准



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半导体工艺设备
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水平氧化扩散炉



集成电路   制造：CMOS棚极氧化、存储器芯片介质层生长、DRAM电容介质形成

功率半导体制造：IG8T器件的场氧生长、MOSFET棚极氧化层制备、功率二极管PN结形成

新型半导体材料：5iC器件栅氧生长、GaN器件表面纯化、三代半导体材料掺杂工艺

MEMS     制造：MEMS结构层的热氧化，传感器介质层制备、微机械结构的掺杂工艺









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