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链式烧结炉







                             ★ 半导体制造:   芯片封装;功率器件电极烧结

                        ★ 电子元器件制造:   MLCC烧结;LTCC工艺;厚膜电路烧结

                        ★ 新型材料研发:   陶瓷基复合材料的排腊,烧结;金属-陶瓷复合材料的致密化

                        ★ 新能源领域:   燃料电池电极烧结;锂电池正负极材料烧结



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水平氧化扩散炉



集成电路   制造:CMOS棚极氧化、存储器芯片介质层生长、DRAM电容介质形成

功率半导体制造:IG8T器件的场氧生长、MOSFET棚极氧化层制备、功率二极管PN结形成

新型半导体材料:5iC器件栅氧生长、GaN器件表面纯化、三代半导体材料掺杂工艺

MEMS     制造:MEMS结构层的热氧化,传感器介质层制备、微机械结构的掺杂工艺









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中国青岛(上合示范区)新东路6号




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