★ 全自动化生产设备
★ 自动上下装卸料
★ 物料无人搬运,自动输送带传递
★ 完整的工厂MES系统对接,标准通信系统,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准
集成电路 制造:CMOS棚极氧化、存储器芯片介质层生长、DRAM电容介质形成
功率半导体制造:IG8T器件的场氧生长、MOSFET棚极氧化层制备、功率二极管PN结形成
新型半导体材料:5iC器件栅氧生长、GaN器件表面纯化、三代半导体材料掺杂工艺
MEMS 制造:MEMS结构层的热氧化,传感器介质层制备、微机械结构的掺杂工艺
模块化、自动化可扩展、高可靠
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周一至周日 24H 官方邮箱:goldliton@126.com地 址:中国青岛(上合示范区)新东路6号