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稀土永磁真空炉





                   ★  烧结:   用于将磁性材料粉末在高温下烧结成致密的磁体,提高材料的密度和磁性能

                   ★  退火:   用于改善磁性材料的微观结构,提高其磁性能和稳定性

                   ★  钎煤:   用于连接磁性材料与其他金属部件,确保连接的强度和可靠性

                   ★  脱气:   用于干燥磁性材料,确保其在后续加工过程中的稳定性

                   ★  干燥:   用于去除磁性材料中的气体杂质,提高材料的纯度和性能

                   ★  扩散:   用于重稀土元素渗入磁体表面以提升磁体的抗高温退磁性能(即矫顽力)


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水平氧化扩散炉



集成电路   制造:CMOS棚极氧化、存储器芯片介质层生长、DRAM电容介质形成

功率半导体制造:IG8T器件的场氧生长、MOSFET棚极氧化层制备、功率二极管PN结形成

新型半导体材料:5iC器件栅氧生长、GaN器件表面纯化、三代半导体材料掺杂工艺

MEMS     制造:MEMS结构层的热氧化,传感器介质层制备、微机械结构的掺杂工艺









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0532-82289777/82281216

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中国青岛(上合示范区)新东路6号




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