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真空烧结炉
★ 半导体制造：金属硅化物烧结;欧姆接触制备;功率器件电极烧 ★ 先进封装：晶圆级封装;TSV(硅通孔)金属化 ★ 新型材料研发：第三代半导体材料烧结;二维材料金属化 ★ 太阳能光伏：高效太阳能电池电极烧结;新型电池结构烧结 ★ 电子元器件制造：MMLCC烧结;厚膜电路烧结 ★ 新能源领域：燃料电池电极烧结;锂电池材料烧结 
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