按钮
首页 >> 产品&服务 >>半导体工艺设备 >> HVPE/THVPE设备
详细说明

HVPE/THVPE设备




          ★  5G芯片光通信领域:    HVPE用于氮化镓单晶生长，氧化镓氮化铝，磷化铟，

                                              砷化镓等化合物半导体材料的外延生长

          ★  氮化镓基板制造:    THVPE用于氮化镓等化合物半导体材料的外延生长



收藏
  • 商品说明
标签文字
半导体工艺设备
更多

产品中心

相关产品

Details

水平氧化扩散炉



集成电路   制造：CMOS棚极氧化、存储器芯片介质层生长、DRAM电容介质形成

功率半导体制造：IG8T器件的场氧生长、MOSFET棚极氧化层制备、功率二极管PN结形成

新型半导体材料：5iC器件栅氧生长、GaN器件表面纯化、三代半导体材料掺杂工艺

MEMS     制造：MEMS结构层的热氧化，传感器介质层制备、微机械结构的掺杂工艺









模块标题

应用场景
更多
应用场景
标题
更多
标题
更多

关注微信

浏览手机站

0532-82289777/82281216

周一至周日  24H
官方邮箱：goldliton@126.com
地        址：中国青岛（上合示范区）新东路6号




×
seo seo
×